潔凈室（區(qū)）設備安裝要求
發(fā)布者：翼展凈化工程公司瀏覽次數：發(fā)布時間：2022-07-27
在GB/T 25915.5/1S0 14644-5 中要求潔凈室內固定設備的安裝，應根據潔凈室的設計和作用,下面具體重點介紹下一下情況
1.設備的安裝方法：理想的方法是在設備安裝期關閉潔凈室，并且有能滿足設備運進所福覽度的門或在瑞板上預留通 道，以讓新設備通過并進入潔凈室，為防止安裝期附近的潔凈室受到污染、應采取防護措施，以確保潔凈室仍符合其潔凈度要求所需的后續(xù)的工作。
2.若設各安裝期間潔凈室的工作不能停，或有結構需要拆除，必須將正在運行的潔凈室與工作區(qū)進行有效隔離：可采用臨時隔離墻或隔斷圍擋。為不妨礙安裝工作，沒備周圍應的有足夠的空間。若條件許可，可通過服務通道或其他非關鍵區(qū) 進人隔離區(qū)：如不可能，應釆取措施盡量降低安裝工作所產生的污染影響。該隔離區(qū)應維持等壓或負壓。隔高區(qū)內應切斷潔凈送風，避免對周圍的潔凈室形成正壓。如果只有通過相鄰的潔凈室才能進人隔離區(qū)，則應采用粘墊，去除鞋上攜帶的污物。
3.進人隔高區(qū)后，可使用一次性靴子或套鞋及連體工作服以免污染潔凈服。離開隔離區(qū)前應脫下這些一次性物品。應制定設備安裝過程對隔離區(qū)周圍區(qū)域監(jiān)測的方法并確定監(jiān)測頻度，確保檢測到可能泄漏至相鄰潔凈室的任何污染，隔離措施設置后可架設各種所需的公共服務設施，如電、水、氣體、真空、壓縮空氣和廢水管道，應注意盡可能控制并隔離作業(yè)產生的煙塵和渣屑，避免因疏忽擴散至周圍的潔凈室，還應便于拆除隔離屏障前進行有效的清潔。公用服務設施符合使用要求后，應按規(guī)定的清潔規(guī)程對整個隔離區(qū)清潔去污。包括全部的墻、（固定的和可移動的）設備及地面在內的所有表面，都要進行真空清潔、擦拭和拖擦，并應特別注意清潔設備護板后面及設備下面的區(qū)城。
4.依據潔凈室和安裝設備實際狀況可進行設備性能的初步測試，但后面的驗收檢測應在完全具備潔凈環(huán)境條件時進行。根據安裝現場狀況可開始小心地拆除隔離墻；如已關閉潔凈送風，則將其重新啟動；應慎重選定進行這階段工作的時間，以盡量減少對潔凈室正常工作的千擾。此時可能需要測量空氣懸浮粒子濃度是否滿足規(guī)定要求
5. 設備內部及關鍵的工藝腔室的清潔與準備工作，應在正常的潔凈室條件下進行。與產品接觸或與產品輸送有關的所有內腔室及所有表面都要進行擦拭，使其達到要求的潔凈程度。設備的清潔順序應是從頂到底，如有粒子擴散，較大的粒子因重力將落到設備的底部或地面上。清潔設備的外表面，順序也是從頂到底。必要時，應對產品或生產工藝要求屬于關鍵性的區(qū)城，進行表面粒子檢測.
6.鑒于潔凈室的特點，尤其是高科技潔凈室大面積、高投人、高產出的特點和十分嚴格的潔凈度要求，在這類潔凈廠房內生產工藝設備的安裝更加具有一般潔凈廠房沒有的特定要求。為此，在2015 年發(fā)布的國家標準《潔凈廠房施工及質量驗收規(guī)范》（GIB 51110）中對潔凈廠房內生產工藝設備的安裝作了一些規(guī)定，主要有以下內容。
A.為了防止在生產工藝設備的安裝過程中給已進行“空態(tài)〞驗收的潔凈室（區(qū)）帶來污染甚至損壞，其設備的安裝過程不得有超范圍的振動、傾斜，不得劃份及污染設備表面。
B.為使?jié)崈羰遥▍^(qū)，內生產工藝設備的安裝做到有序和無坐或少坐作業(yè)，并能遵循潔凈廠房內的潔凈生產管理制度，做到在生產設備安裝過程保護好已經按“空態(tài)”驗收的各項“成品”“半成品”，安裝過程所必須使用的材料、機具等不得散發(fā)或可能產生（長期地包括在潔凈室正常運行中）對所生產產品有害的污染物，應采用無塵、無銹、無油脂且在使用過程中不產塵的清潔材料。
C.應以潔凈、無塵的板材、薄膜等材料保護潔凈室（區(qū)）的建筑裝飾表面；設備墊板應按設計或設備技術文件要求制作，如無要求時應采用不銹鋼板或塑料板。獨立基礎和地板加固用碳鋼型材應經防腐處理，表面應平整、光滑；用于嵌縫的彈性密封材
D.材料應注明成分、品種、出廠日期、儲存有效期和施工方法說明書及產品合格證書潔凈室（區(qū)）使用的機具不得搬至非潔凈室（區(qū)）使用，非潔凈室（區(qū)）使用的機具不得搬至潔凈室（區(qū)）使用，潔凈區(qū)使用的機具應做到機具外露部分不產塵或采取防止塵埃污染環(huán)境的措施，常用機具在搬人潔凈區(qū)前應在氣閘室進行清潔處理，應達到無油、無垢、無塵、無銹的要求，并應經檢查合格貼上“潔凈”或“潔凈區(qū)專用”標識后搬人。
E.潔凈室（區(qū)）內的生產工藝設備需安裝在活動地板等“特定地面”上的設備基礎一般應設置在下技術夾層地坪上或泥凝士多孔板上；安裝基礎所需拆除的活動地板，經手持電鋸切割后的結構應子加固，其承載能力不應低于原承載能力。當應用鋼制框架結構的獨立基礎時，應選用鍍鋅材料或不銹鋼材料制作，外露表面應平整、光滑。
F.潔凈室（區(qū)）內生產工藝設備的安裝過程需在墻板、吊頂和活動地板開洞時，其開洞作業(yè)不得劃份或污染需保留的墻板、吊 頂板表面，活動地板開口后不能及時安裝基礎時，應設安全護欄并設危險標識；生產設備安裝后，洞口四周間隙應進行密封處理，并應做到設備與密封組件為柔性接觸，密封組件與壁板的連接應緊密、牢固；工作間一側的密封面應平整、光滑。
